ASML设立首个EUV海外培训中心:就近辅导台积电打磨先进工艺

据媒体报道,光刻机巨头ASML(阿斯麦)日前宣布,将在中国台湾的南部科学园区建立自己在海外(荷兰之外)的首个培训中心,旨在就近辅导台积电所领导EUV光刻制造集群。

所谓EUV即极紫外光刻,目前全球有且只有ASML可以生产相关机器。光刻是半导体芯片制造中最费时间也是最费成本的环节之一,而且它决定了芯片的工艺水平,常说的XXnm工艺主要是看光刻机水平。

台积电的第一代7nm因为赶进度,没有使用EUV,而是DUV(深紫外光刻),不过随着7nm的改良以及5nm量产、3nm风险试产的进行,EUV开始更多导入。

ASML今年二季度的财报显示,虽然仅仅出货了9台光刻机,但净利润高达7.51亿欧元。毕竟,一台EUV光刻机的售价就达到约合10亿元人民币左右。

另外,TrendForce数据显示,今年第一季度,台积电营收102亿美元,是第二名三星的几乎4倍。

ASML设立首个EUV海外培训中心:就近辅导台积电打磨先进工艺

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