能造14nm、7nm的ASML光刻机值多少钱?5.8亿、比EUV便宜多了

作为半导体制造中最关键的装备,很多网友都非常关注光刻机,毕竟它是最贵的,而且决定了CPU工艺的线宽水平,目前全球先进光刻机主要是ASML公司生产。

那ASML的光刻机到底值多少钱?此前我们报道过他们的EUV光刻机,一台大概1.2亿欧元,约合10亿人民币,绝对是天价了,但三星、台积电还在抢着买。

EUV光刻机之前,ASML目前的主力其实还是DUV光刻机,使用的是193nm的深紫外光刻技术,也有多种型号,这又该值多少钱呢?

这几天网络报道了投资上千亿的武汉弘芯半导体烂尾的消息,此前该公司规划投资200亿美元,先后建设14nm及7nm工艺生产线,其中使用的就是ASML公司的TWINSCAN NXT:1980Di光刻机。

能造14nm、7nm的ASML光刻机值多少钱?5.8亿、比EUV便宜多了

这台DUV光刻机还是全新的,它能值多少钱?现在因为资金断裂,这台光刻机已经抵押给了武汉农村商业银行股份有限公司东西湖支行,抵押价格是58180.86万元,也就是5.82亿元。

与EUV光刻机动辄10亿元的价格相比,DUV光刻机的价格大概要少四成,只有后者60%的样子,但也是超级贵的装备了。

虽然比不了EUV光刻机,不过TWINSCAN NXT:1980Di依然是极其先进的,官方标称分辨率是38nm以内,实际工艺可以做到10nm以内,台积电的第一代7nm工艺也是使用这样的DUV光刻机实现的。

能造14nm、7nm的ASML光刻机值多少钱?5.8亿、比EUV便宜多了

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