台积电买下市场上50%的EUV光刻机 贡献了60%的产能

在本周召开的台积电技术研讨会上,最重要的中心信息之一是,该公司在半导体制造领域处于世界领先地位,特别是在领先的工艺技术领域。

为进一步传达信息,台积电展示了一张幻灯片,指出了它与其他产品的相对位置:通过结合ASML的声明和自己的内部采购单,台积电预测他们已安装了全世界约约50%的激活EUV机器。

除此之外,该公司还拥有约60%的EUV晶圆累计生产量。

台积电买下市场上50%的EUV光刻机 贡献了60%的产能

大型晶圆厂目前已知的公开EUV工艺包括TSMC的7+和N5,以及三星的7LPP(及以下任何产品),英特尔的EUV努力仅在明年进入其自己的7nm产品组合。

这些流程之外的任何前沿技术都将继续扩大EUV的使用范围。

与常规DUV机器相比,EUV机器的吞吐率通常较低,每小时约为120-175片晶圆,最新版本可以达到275 wph,但是由于1层EUV通常可以代替3-4层DUV,因此吞吐率更高。

但是,对于这些代工厂来说,渴望扩展到多个EUV机器以增加晶圆的物理数量是一个迫切的目标 

台积电买下市场上50%的EUV光刻机 贡献了60%的产能

唯一制造EUV机器的公司是ASML,并且该公司公开宣布其每年销售多少台机器。详情如下:

台积电买下市场上50%的EUV光刻机 贡献了60%的产能

请注意,到目前为止,ASML仍未完全达到其目标,但是已经足够接近实现目标,这表明到2020年第二季度末,ASML仅出货了13台,但他们预期是35个系统。

这些数字包括ASML已制造的所有不同类型的Twinscan NXE机器,而更新的机器具有更高的吞吐量(有时会翻新一些旧的机器)。

截止到2020年Q2,我们预测ASML已经发货的EUV机接近71台,到2020年年底,这个数字将有可能达到90台,然而ASML可能有多达积压49 EUV扫描曝光机订单,即使具有这些发货目标。

台积电买下市场上50%的EUV光刻机 贡献了60%的产能

如果ASML已经出货了71台机器,那么根据台积电的数字,这意味着该公司大约有30-35台。

请注意,TSMC的数字是针对“已安装的EUV”机器的。我们获悉,从获取零件到校准机器使用最多需要6个月的时间。

因此,目前,这些晶圆厂中有一些正在等待安装EUV机器,或者在Intel的情况下,可能仅用于早期测试或风险前试验。

我们知道,GlobalFoundries拥有两台早期的EUV机器,安装了一台,但是当它决定不追求领先的7nm时最终出售了这两台机器,其中国内企业订购了一台,但据我们所知,由于美国施加的限制,它没有安装。

随着台积电为其N5生产增加其Fab 18的产能,并提高其EUV集成度,看看台积电是否受制于其所拥有的机器数量是否受到限制将很有趣。

在某个时候,英特尔在部署7纳米工艺时也会想购买一个数量(我已经看到英特尔已经至少有10台机器,但我无法确认),所以可能会有一个谁先获得订单的争吵。

但是可以肯定的是,ASML正处于中间位置,垄断着一切。

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